В этом процессе, который работает аналогично вакуумному орошению, газ аммиак подается в печь с помощью точно контролируемых печей. Основной целью подачи газообразного аммиака в вакуумной среде является равномерное распределение слоя азотирования по всей поверхности. Одной из причин выбора вакуумного азотирования является то, что оно является более однородным, чем газовое азотирование, и дает одинаковое значение твердости по всей поверхности.